電子特氣管道系統(tǒng)配管及附件材質(zhì)的選擇
2023-06-29 10:58:21
電子特氣管道系統(tǒng)配管及附件材質(zhì)的選擇
選用滲透性小、出氣速率低、吸附性差的材料。目前超大規(guī)模集成電路前工序高純氣體輸送系統(tǒng)管道材料采用不銹鋼光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不銹鋼電拋光管(SS316L-EP)等，但是對(duì)要求控制高純氣體中總雜質(zhì)含量≤1.01.0×10-6及以下的管材應(yīng)用SS316L-EP管。
注：①管路型式以氣體特性設(shè)計(jì)，惰性氣體使用一般的單層管，作為制程用的反應(yīng)氣體，則選用高級(jí)別的SS316L-EP管;使用與芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體則選用SS316L-BA管。
②對(duì)于自燃爆炸，有劇毒的特種氣體，如SiH4、PH3、AsH3等則考慮使用雙套管，它的內(nèi)/外管材質(zhì)一般為SS316L-EP/SS316L-AP，此設(shè)計(jì)的主要目的有兩點(diǎn)，首先可保護(hù)內(nèi)管直接受到外力撞擊，其次能將由內(nèi)管滲漏的氣體阻絕于外管，并利用相關(guān)的檢測(cè)設(shè)備檢測(cè)，目前常用的設(shè)計(jì)有正壓和負(fù)壓兩種方式，負(fù)壓設(shè)計(jì)是將內(nèi)外管間抽成真空，正壓設(shè)計(jì)則是灌以氮?dú)饩S持正壓，兩者皆可接上壓力表或者壓力警報(bào)器檢知泄漏狀態(tài)。
通常采用的方法有機(jī)械噴砂、化學(xué)溶液清洗、化學(xué)拋光、電拋光等，目前廣泛應(yīng)用的管材有光亮退火管和電拋光管。